NSR-2005i10C型分步投影光刻机有片子自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩模光阑、自动调焦调平、硅片掩模自动对准、自动曝光量控制、图形自动优化设计计算、故障显示报警等先进功能。该机适用于150mm×150mm掩模和φ100mm的片子直径，光刻线条的宽度为0.4um。