HCE系列光谱仪测量发射光谱
发射光谱测量可以用不同的实验布局和波长范围来实现,还要用到余弦校正器或积分球。发射光谱测量可以在紫外/可见和可见/近红外波长范围内测量。 对于发射光谱的测量,光谱仪可以配置成波长范围从200-400nm或350-1100nm,或组合起来实现紫外/可见200-1100nm。
定标后的实验布局不能改变,如光纤和匀光器都不能更改。 为了使实验布局更灵活,用可见/近红外定标光源或紫外/可见/近红外定标光源,可以在用户现场进行定标。功能强大的捷扬光电光谱分析软件可以完成定标并载入辐射定标数据。
HPF系列光谱仪测量薄膜厚度
捷扬光电的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到,因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的捷扬光谱分析软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值,可以实现膜层厚度的在线监测,并可以输出到Excel文件进行过程控制。
HPF系列光纤光谱仪用于氧含量的测量
氧含量的测量原理是通过测量光纤探头荧光图案的光致荧光衰减来分析氧含量的变化,具体结构如图2-3所示。其采用镀有钌氧化物的探头,探头通过Y形光纤和LED光源以及光谱仪连接,如果探头尖端的钌错体遇到氧分子,其激发出来的荧光就会减弱,根据探测的荧光信号就可以计算氧分压。
东莞捷扬光电科技研发生产高精度光谱仪器,主营微型光谱仪,膜厚检测仪,显微透过率检测仪,显微反射率检测仪,显微激光诱导荧光检测仪,显微激光诱导拉曼检测仪。透过率检测仪,近红外水分仪。