技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。

技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。

技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。

技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。

技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。

技术参数：

1.     极限真空度：5×10-5Pa；

2.     PLD与PVD在一个腔体内镀膜；

3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；

4.     基板加热温度：900℃；

5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；

6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。