对许多金属和金属合金一个有趣的争论就是，他们是通过物理气相沉积(PVD)还是通过化学气相沉积(CVD)能得到最.好的沉积效果。尽管CVD比PVD有更好的台阶覆盖特性，但目前诸如铜的子晶层和钽氮扩散层薄膜都是通过PVD来沉积的，因为现有的大量装置都是基于PVD系统的，工程技术人员对PVD方法也有较高的熟练程度。一些人建议，既然台阶覆盖特性越来越重要(尤其是在通孔边墙覆盖)，CVD方法将成为必不可少的技术。相似的争论也存在于产生低k值介质材料方面：是使用CVD方法好还是采用旋涂工艺好？

在化学气相沉积中，决定晶圆间薄膜均匀性的重要参数之一是晶圆间的气体是如何流动的。上图所示是Novellus概念下Three ALTUS系统中，一个晶圆及其基座上的SiH4集中度和钨沉积率的典型路径图。

真空管式炉均系周期作业式。供实验室、工矿企业、科研单位作元素分析测定和一般小型钢件的淬火、退火、回火和电子陶瓷等新材料的加热用。本系列设备的成套供应范围有温度控制器、热电偶、补偿导线等。温度控制有继电器控制、可控硅控制二种，由于是间歇式作业炉，一般都采用40段PlD高级可编程控制，能严格控制产品的烧制过程。

马弗炉的使用及注意事项

   1. 新炉的耐火材料里含有水分，另外为使加热元件生成氧化层，在开始使用前，必须先在低温下烘烤数小时并逐渐升温至900℃，且保 持5小时以上，以防炉膛受潮后因温度的急剧变化而破裂。

   2. 在马弗炉加热时，炉外套也会变热，应使炉子远离易燃物，并保 持炉外易散热。

   3. 加热元件的工作寿命取决于其表面的氧化层，破坏氧化层会缩短加热元件的寿命，而每次停机都会对氧化层有所损害，因此开机后 应避免停机。

4.使用时炉温不得超过最.高温度，以免烧毁电热元件，并禁止向炉 膛内灌注各种液体及熔解的金属。

5. 在做灰化试验时，一定要先将样品在电炉上充分碳化后，再放入 灰化炉中，以防碳的积累损坏加热元件。

   6.几次循环加热后，炉子的绝缘材料可能出现裂纹，这些裂纹是热 膨胀引起的，对炉子的质量没有影响。

   7. 马弗炉为实验用品，不得移作它用，样品一定要用洁净的坩埚盛 放，不得污染炉膛。

   8. 电阻炉使用时，要经常照看，防止自控失灵造成事故，晚间无人 值班时，切勿使用电阻炉。

   9. 马弗炉使用完毕，应切断电源，使其自然降温。不应立即打开炉门，以免炉膛突然受冷碎裂，如急用，可先开一条小缝，让其降温 加快，待降温度降至200℃以下时，方可开炉门。

   10. 使用马弗炉时，需注意安全，谨防烫伤。