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光学轮廓仪,白光干涉仪,非接触式三维轮廓仪
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产品属性
图文详情
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品牌
中图仪器
型号
SuperView W1
类型
白光干涉仪
测量范围
140*110*100mm
测量分辨率
0.1nm
用途
测量精密工件表面轮廓参数
加工定制
外形尺寸
590×600×790mmmm
重复性
0.1%
干涉物镜
10×,50×,100×可选
XY轴测量范围
100*100mm
Z轴行程
100mm
Z向分辨率
0.1nm
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