分类

CVD技术常常通过反应类型或者压力来分类，包括低压CVD(LPCVD)，常压CVD(APCVD)，亚常压CVD(SACVD)，超高真空CVD(UHCVD)，等离子体增强CVD(PECVD)，高密度等离子体CVD(HDPCVD)以及快热CVD(RTCVD)。然后，还有金属有机物CVD(MOCVD)，根据金属源的自特性来保证它的分类，这些金属的典型状态是液态，在导入容器之前必须先将它气化。不过，容易引起混淆的是，有些人会把MOCVD认为是有机金属CVD(OMCVD)。

过去，对LPCVD和APCVD最常使用的反应室是一个简单的管式炉结构，即使在今天，管式炉也还被广泛地应用于沉积诸如Si3N4 和二氧化硅之类的基础薄膜(氧气中有硅元素存在将会最终形成为高质量的SiO2，但这会大量消耗硅元素；通过硅烷和氧气反应也可能沉积出SiO2 -两种方法均可以在管式炉中进行)。

最近，单片淀积工艺推动并导致产生了新的CVD反应室结构。这些新的结构中绝大多数都使用了等离子体，其中一部分是为了加快反应过程，也有一些系统外加一个按钮，以控制淀积膜的质量。在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量，偏压以及其它参数，可以同时有沉积和蚀刻反应的功能。通过调整淀积：蚀刻比率，有可能得到一个很好的缝隙填充工艺。

管式加热炉的特征：

　　１）被加热物料在管内流动，仅限于加热流体；而且这些流体都是易燃易爆的烃类物质，危险性大，操作条件很苛刻；

　　２）加热方式为直接受火式；

　　３）只使用液体或气体燃料；

　　４）长周期连续运转，不简短操作。

对管式加热炉的基本要求：

　　１）把原料加热到规定温度。

　　２）没有局部过热或死角的现象，防止原料油在炉管内结焦，以延长管式炉的运转周期。

　　３）在完成任务的前提下，尽量节省传热面积，降低金属消耗量。

　　４）提高炉子传热效率，减少燃料消耗量。

　　５）造价低和寿命长。　

烟囱的作用是什么？烟囱有哪几种型式？特点是什么？

答：加热炉的烟囱有两个作用：一是降烟气排入高空，减少地面的污染；二是当加热炉采用自然通风燃烧时，利用烟囱形成的抽力将外界空气吸入炉内供燃料燃烧。

烟囱按材质分为：砖烟囱、钢筋混凝土烟囱、钢烟囱三种。砖烟囱较便宜，砖导热性较差，壁较厚，内外壁温差较大，设计或施工不当则易产生裂纹，影响排烟。此外，砖烟囱不宜在地震烈度较高的地区使用。钢筋混凝土烟囱对热应力适应性较强，烟囱可高达150米以上。钢烟囱的最.大优点轻便，抗地震性能较好。当烟囱高度低于30米时，可以直接放在加热炉的对流室上部，结构紧凑；钢烟囱的缺点是易受烟气腐蚀。