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激光清洗的优点：
　　传统的清洗方法包括机械清洗法、化学清洗法和超声波清洗法，尽管它们在清洗行业中得到广泛的应用，但在环境保护和高精度要求下其应用受到很大的限制。机械方法无法满足高清洁度清洗要求，而化学清洗方法容易导致环境污染，获得的清洁度也很有限；特别是当污垢成分复杂时，必须选用多种清洗剂反复清洗才可能满足表面清洁度的要求。超声波对亚微米级污粒的清洗无能为力，清洗槽的尺寸限制了清洗部件的范围和复杂程度，而且清洗后对工件的干燥亦是一大难题。激光清洗技术是近十年来飞速发展起来的新型清洗技术，在许多领域中正逐步取代传统清洗工艺。它能适应各种表面污物的清洗，对环境污染极小，也可以做到不损伤基体。目前该方法已成为传统清洗方法的补充和延伸，具有广阔的应用前景。与传统清洗方法相比，激光清洗技术具有一些特有的优点：
　　(1) 激光清洗是一种选择性清洗，也就是对欲清洗对象具有可选择性，这种技术可以使基体表面完好。对于不同的基体表面的不同的污物，可以通过设定激光的参数(如光斑大小、 单脉冲能量、脉冲宽度、重复频率等)有选择地清洗污物，而不会破坏基体。
　　(2) 激光清洗的环保性。激光清洗的废料基本上都是固体粉末，体积小，易于存放，对环境基本上不造成污染，是一种“绿色”的清洗工艺。
　　(3) 激光清洗的不接触性。传统的方法往往是近距离操作，对清洗物体表面有机械作用力，容易损伤物体表面。而激光清洗是一种非接触加工，可方便地实现远距离操作，可以通过光导纤维传输，与机器人或者机械手联合，能清洗传统方法不易达到的部位。以光的形式传递能量，而无需机械接触。这样就可以清洗非常脆弱的材料的表面。
(4) 激光清洗能清除各种材料表面的不同类型的污染物，达到很高的洁净度。激光清洗已经成功地用于清洗大理石、石灰石、沙岩、 陶器、雪花石膏、熟石膏、铝、骨头、犊皮纸和有机物等多种材料上的不同污物，污物的种类包括灰尘、泥污、锈蚀、油漆、油污等。
　　(5) 可以准确定位。激光束可以精确定位在欲清洗的材料表面上，其光斑面积可以从零点几毫米到1 厘米间调整。可以清洗不规则的或者比较隐蔽的表面。可以准确定位把激光头或者把传导激光的光纤放在一个可移动的三维平台上，可以把激光束定位在欲清洗的材料表面上。可以采用计算机控制，使得这种定位更加精确和自动化。
　　(6) 激光清洗的即时控制和回馈。通过CCD相机和探测光实时监测材料表面反射率或者激光引起的表面声波，来判断清洗效果。根据清洗的效果，在清洗过程中，可以随时关闭激光电源，终止清洗。这个过程完全可以是智能化的。
　　(7) 能有效清除微米级及更小尺寸的污染微粒。有些污染物的尺度可能达到微米甚至亚微米量级，如电子印刷线路板在蚀刻和喷镀工艺中的尘埃粒子。一般的方法很难把这种污染物清除掉。目前已成功地采用短脉冲紫外激光器来清除物体表面尺寸在0.1μm左右的微小颗粒，并已经在工业生产中应用。
   　 (8) 激光清洗设备可以长期稳定使用，一般只需要电费和维护费用，运行成本低，而且可以方便地实现自动化操作。
　　激光清洗原理
　　脉冲式的Nd:YAG激光清洗的过程依赖于激光器所产生的光脉冲的特性，基于由高强度的光束、短脉冲激光及污染层之间的相互作用所导致的光物理反应。其物理原理可概括如下：
　　a)激光器发射的光束被需处理表面上的污染层所吸收。
　　b)大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体（高度电离的不稳定气体），产生冲击波。
　　c)冲击波使污染物变成碎片并被剔除。
　　d)光脉冲宽度必须足够短，以避免使被处理表面遭到破坏的热积累。
　　e)实验表明当金属表面上有氧化物时，等离子体产生于金属表面。
　　等离子体只在能量密度高于阈值的情况下产生，这个阈值取决于被去除的污染层或氧化层。这个阈值效应对在保证基底材料安全的情况下进行有效清洁非常重要。等离子体的出现还存在第二个阈值。如果能量密度超过这一阈值，则基底材料将被破坏。为在保证基底材料安全的前提下进行有效的清洁，必须根据情况调整激光参数，使光脉冲的能量密度严格处于两个阈值之间。