广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武1器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
众所周知,靶材材料的技术发展趋势与下游应用 产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。如Ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发, 预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜,这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外,近 年来平面显示器(F P D)大幅度取代原 以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场.亦将大幅增 加ITO靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。高密度、大容量硬盘,高密度的可擦写光盘的需求持 续增加. 这些均导致应用产业对靶材的需求发生变化。下面我们将分别介绍靶材的主要应用领域,以及这些领域靶材发展的趋势。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
(1) density,这个是最主要的,好的靶密度至少达到97%以上,所以大家买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下 你们的靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%的退货。
(2) 开裂问题,套磁靶很容易开裂,所以大家一定要求用cu的背板,这个是必须的,另外靶材不宜太厚,小于5mm最1好了。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。
(3) 电导率,对于AZO, ITO靶材来说,买回来了可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小你 做出来的膜导电性肯定越好了。否则你死活都做不出你需要的电阻率的。
好的AZO靶材的AZO粉很重要,最1好的是用纯的AZO粉,但是价格很贵,而且工艺比较复杂,这样的靶材做出来的膜电阻率最1好。