低温等离子体工业废气处理成套设备和技术是在原电晕放电基础上由高频高压电场通过尖端放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特点，其净化原理如下：
　　1、在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
　　2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性极强的O，能与有害气体分子发生化学反应生成无害产物。
　　3、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
　　4、生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。
　　5、在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应转化为CO2和H2 O等物质，从而达到净化废气的目的。
低温等离子空气净化器的选购：
　　1、过滤技术
　　颗粒污染物过滤技术主要是HEPA滤网，HEPA滤网质量参差不齐，一些小品牌的滤网虽然具有较高的过滤效率，但是阻力大，能效比比较低，而且很容易堵塞，寿命较短，一般建议选用带有静电驻极的深度容尘HEPA滤网，静电驻极技术使得无纺布纤维带有正负电，有效捕捉空气中的颗粒物，很多HEPA滤网都号称具有静电驻极技术，但是由于技术原因很多滤网的驻极电荷在较短的时间内会衰减的很快，导致过滤效率降低。
　　可以选择市面上的如3M静电驻极的HEPA滤网，与3M口罩采用同样静电驻极技术，保证驻极效率不衰减。
　　2、关注适用面积或颗粒物洁净空气量（CADR）
　　空气净化器净化能力的强弱，主要是由适用面积和颗粒物洁净空气量（CADR：提供的洁净空气的速率）决定，两者之间的关系为：适用面积=CADR×0.1。对其它污染物的净化能力，应和适用面积相结合。
　　3、能效比和能效等级
　　空气净化器通常是长期连续使用的，能效比作为衡量空气净化器净化能力与电力消耗的重要指标，值得大家关注。能效比和能效等级越高，代表空气净化器越节能，使用成本越低。
　　4、臭氧释放量
　　臭氧作为强氧化剂具有一定的净化能力，但对人体是有伤害的。国家对空气净化器臭氧释放量有强制性安全要求，限定在≤5×10-6%（臭氧具有鱼腥味）。