半导体不锈钢管道酸洗钝化
 
一、洁净不锈钢管道清洗要求
 洁净厂房设备是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统。为了减少工艺系统调试时净化处理的时间，最大限度地降低调试费用（系统净化处理阶段的废品率高，工厂产出价值低），必须做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗处理。针对不同的工艺要求、不同的设备材质以及不同的设备类型，清洗处理要求和达到的基本标准（要求达到无油、无水与无尘的三无要求）
二、脱脂清洗技术
（1）脱脂：要求经过脱脂清洗后的设备内表面无油（用黑光灯照射，脱脂表面无紫蓝色荧光），不能出现清洗死区；
（2）清洗：要求经过清洗的设备内表面不能有污垢、锈渣和灰尘（用白色绸布擦拭内壁检查，肉眼看不出脏色为合格），不能出现清洗死区，如果酸或者碱类溶液洗涤，不能造成设备腐蚀和酸碱介质的残留；
（3）干燥：清洗后用无油干燥空气吹干，出口露点≤0℃；
（4）包封：设备干燥完成后，各接管口用垫板和安装用法兰密封，供安装使用。直到系统管道安装、吹扫、干燥、施压等完成后更换为生产用法兰垫，使设备和管道根据工艺要求连通，并系统试验。人孔、手孔以及盲法兰口等则按设备要求正常装备完毕备用。
三、酸洗清洗技术

准备工作→水冲洗→酸洗钝化→酸洗钝化后纯水冲洗

（1）被清洗的金属表面应清洁，钝化膜完整均匀，使铁与铁的氧化物比铬与铬的氧化物优先溶解，去掉了贫铬层，能使富铬钝化膜的电位可达+1.0V（SCV），提高了抗腐蚀的稳定性。
（2）检验方法