本设备是一种在真空条件下，通过卷绕机构使幅宽为1100mm，厚1.6~2.1mm的泡沫塑料均速通过4对靶面相对排列的溅射镀膜区，给网状聚氨脂泡沫塑料膜材双面同时镀Ni使泡沫塑料由不导电成为导电的真空镀膜设备。变换靶材和被卷绕基材，也可在其他卷绕材料表面镀制其他金属、合金等一切导电性材料，具有较为广泛的应用范围。

1、用途及使用范围

本设备是一种在真空条件下，通过卷绕机构使幅宽为1100mm，厚1.6~2.1mm的泡沫塑料均速通过4对靶面相对排列的溅射镀膜区，给网状聚氨脂泡沫塑料膜材双面同时镀Ni使泡沫塑料由不导电成为导电的真空镀膜设备。变换靶材和被卷绕基材，也可在其他卷绕材料表面镀制其他金属、合金等一切导电性材料，具有较为广泛的应用范围。

2、主要技术规范

  2.1、真空室内腔尺寸：宽×高×深：1420×2150×1526（mm）

  2.2、极限真空：1.3×10-3Pa(空载时)

  2.3、抽气时间：从大气到6.7×10-3Pa≤20min

  2.4、升压率：≤0.8Pa/h。

  2.5、真空测量：双热偶电离复合真空计，2台，热偶规4支，100Pa~1Pa；电离规2支，10Pa~10-4Pa。

  2.6、可镀卷材：最大幅宽：1100mm，泡沫塑料厚度=1.6-2.1mm

                 最大卷径：φ=600mm

                 卷辊外径：φ=88mm

  2.7、卷绕速度：0.4-5m/min

  2.8、磁控溅射靶：靶面尺寸：1272×120（mm）

                  数量：4对（4×2=8个）

                  靶材：根据用户要求提供

  2.9、溅射电源：软起动，自动恒流DC电源，DC，-700伏，20KW

                 数量：8台

  2.10、溅射气氛控制：D07—7B/ZM型气体质量流量计，

                        最大流量，500SCCM，1台 

        工作真空范围：1.5×10-1Pa~3×10-1Pa

  2.11、真空系统：主泵，油扩散泵，前级机械泵，电磁气动真空阀门。

       卷绕室：ZHFB400/3600分子泵，4 台，0.55KW×2=1.1KW

              2X —70A型，机械泵，4台，5.5KW×4=22KW

       溅射室：ZHFB400/3600分子泵，4台，0.55KW×2=1.1KW

               2X —70A型，机械泵，2台，5.5KW×2=11KW

 2.12、 冷却水：水质清洁，不含磁性粒子和悬浮物。

              电导率：小于50μ S /cm

              压力:0.1～0.25MPa,  流量：约15T/hr，水温＜25℃

 2.13、总功率：三相，380V/220V，50HZ，206KVA。

 2.14、占地面积：不包括辅助空间，8000mm×6720mm，四周至少留有1m以上空地。