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派瑞林真空气相沉积镀膜机(Parylene)
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产品属性
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型号
PTP-7
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
集成电路
极限真空度类型
中真空0.1~100Pa
镀膜室尺寸
750*930mm
工作真空度
2.66Pa
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