电子厂房净化空调工程改造设计
该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。
1.2 系统存在的主要问题
(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构,
其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;
(2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足问题,造成扩散炉周围区域的温度高达
37℃,并且回风循环使用,不利于节能;
(3)酸洗槽的排风量不足,平均断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严重影响室内的卫生和生产环境;
(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换循环风机。
2、改造方案
针对系统运行中出现的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。
2.1 工艺布置改造方案
2.2 净化空调系统改造方案
3、改造后的使用效果
系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。
4、结论
本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统,不符合“规范”的要求;酸洗槽排风量不足;护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标;改造后将生产工艺布局做了适当调整,按照规范的要求,对净化区及非净化区单独设置空调系统;加大酸洗槽排风量,同时采用了热排风回收装置,对补充新风进行预热(预冷),节约能源,降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中,对于生产环境有要求的工艺,既应该按照生产过程布置工艺,同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制,保证生产环境的可靠性。
一)、洁净棚结构:其材料以40*40/40*80mm工业铝型材作为框架,采用风机滤网送风单元FFU送风,四周围用防静电垂帘或防静电有机玻璃板,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达10000-100级;特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业区域、高精度产品组装区。
(二)、洁净棚特点:
1、组装式结构设计,安装方便,大大缩短了交货周期;
2、移动方便(可装万向轮);适用于建造小面积的洁净区域。
3、模块化结构,提高净化级别容易,扩展性强,且重复利用价值高;
4、相对超净工作台,内部可用有效空间大;相对传统无尘室,成本低、施工快、且对楼层高度低不限。
(三)、洁净棚材料
1、 框架:40*80 40*40工业专用铝材,坚固、美观、不生锈、不产尘。
2、 防静电垂帘:0.5mm厚网格, 防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔软、韧度好、不变形、不易老化:隔温、防尘除静电性能好。
3、防静电有机玻璃板:进口产品, 防静电效果好、透明度高、不易老化,适合高要求场合。
4、洁净棚顶盖板、净化盲板采用1.2mm冷板喷塑。
5、洁净棚内可采用净化照明系统。
6、风机滤网送风单元FFU:采用低噪音离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可调速。其中高效过滤器(HEPA)设置在风机送风单元最末端。HEPA具有初阻力小、容尘量大、过滤效率高、使用寿命长、便于更换等特点。
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