低温等离子体分解油雾，废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子(原子)的内能，发生激发，理解，电离等一系列过程使污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反映，这主要取绝育等离子的平均能量，离子密度，气体温度，污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。