紧凑式激光测振仪由19英寸机架安装式控制器和紧凑式光学头组成,控制器为光学头提供电源,它们之间通过光纤电缆连接。测量频率范围为3.2 MHz,速度上限为10 m/s。系统可配备的选配件范围宽泛,如集成的视频摄像机、超声波积分器和显微镜物镜等,这些优势就决定了用于微型结构的研发工作和大型物体的工业应用的理想工具。激光光斑直径为1.5µm,无需另配显微镜亦能全面可视化控制和测量小型物体。其极高光学灵敏度和IP64工业保护等级使光学头能适应恶劣的工业环境,以及汽车或电子行业的研发应用。
产品特点:
测量的振动速度和位移的频率范围为3.2 MHz, 速度上限为 10 m/s .
用于微型结构的研发工作和大型物体工业应用的理想工具
宽范围选配件:如集成视频摄像头,超声积分器和显微镜物镜等
(IP64)光学头结构紧凑,采用防尘和防溅型箱体(IP64)
极高光学灵敏度,工作距离范围大,噪音低
可选配CCD摄像机,可视化监测样品
专用的数据采集软件,集成视频功能
测量小型结构,可选配显微镜物镜,还能专门配备照明单元
典型应用:
数据存储
半导体/超声
白色家电
汽车/电子行业
· 大带宽激光测振仪
控制器内包括一个三量程的速度解调器,速度上限为10m/s,频率上限为3.2MHz。所有量程/滤波设置通过前面板按钮或内置的RS-232接口进行。如遇需要位移输出的应用时,如超声焊线,则可选配一个对速度信号进行积分位移输出模块(频率上限250kHz)。
· 高精度激光测振仪
控制器以高精度数字速度解调器为特点,频率上限为350kHz。高信噪比、高分辨率和高线性响应是数字速度解调器的突出优点。共有5个速度量程以适应各种测试任务。
| 通用参数 | |||||||||
|
| 控制器 | 光学头 | |||||||
| 尺寸(L x W x H) | 450 mm x 355 mm x 150 mm | 201 mm x 38 mm x 71 mm | |||||||
| (17.7 in x 14.0 in x 5.9 in) | (7.9 in x 1.5 in x 2.8 in) | ||||||||
| 重量 | 11 kg (24.3 lbs) | 0.8 kg (1.8 lbs) | |||||||
| 防护等级 | I (protective grounding) | IP 64 标准 | |||||||
| 电源 | 100 VAC … 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz, max. 75 W | ||||||||
| 环境温度 | +5 °C … +40 °C (41 °F … 104 °F) | ||||||||
| 存储温度 | -10 °C … +65 °C (14 °F … 149 °F) | ||||||||
| 相对湿度 | max.80 %, 无冷凝 | ||||||||
| 激光电缆长度 | 3 m (控制器到光学头) | ||||||||
| 电压输出 | ±10 V | ||||||||
| 接口 | RS-232, max. 115 kBd, 可通过串行接口与控制器相连 | ||||||||
| 滤波器 | 高通滤波: 100 Hz /off; | ||||||||
| 低通滤波: 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz, off; | |||||||||
| 滤波跟踪: slow/fast/off(CLV-2534-2) | |||||||||
| 光学头技术参数 | |||||||||
| 激光类型 | HeNe | ||||||||
| 激光保护等级 | Class 2, <1 mW, 可视 | ||||||||
| 激光波长 | 633 nm | ||||||||
| 最小工作距离 | 200 mm | ||||||||
| 最小光斑直径 | 1.5 μm ( LENS 20X ) | ||||||||
| 最大清晰度 | 287 mm + n · 204 mm; n = 0; 1; 2; ... | ||||||||
| 摄像头(可选) | |||||||||
| 摄像机类型 | 彩色CCD | ||||||||
| 像素 (H x V) | 510 x 492 | ||||||||
| 镜头 | F 4.5 | ||||||||
| 快门速度 | 从 1/60 到 1/100,000 | ||||||||
| 视频输出 | Composite (CVBS), 1 Vp-p 75 Ohm | ||||||||
| 特点 | |||||||||
| 工作距离1) mm | 20.02) | 33.53) | 200 | 300 | 3204) | 500 | 1000 | 2000 | 每增加1m |
| 镜头景深3) mm | 0.012 | 0.048 | ±2 | ±6 | ±0.08 | ±19 | ±81 | ±339 | - |
| 光斑直径2) μm | 1.5 | 3 | 25 | 40 | 15 | 70 | 148 | 302 | 增加150 |
| CCD视场 mmxmm | 0.68 | 1.36 | 10 | 17 | 3.8 | 31 | 64 | 130 | - |
| x 0.52 | x 1.04 | x 8 | x 13 | x 2.9 | x 24 | x 49 | x 100 | ||
| 1) 从光学头的前沿开始 | |||||||||
| 2) 可选 20X 镜头 | |||||||||
| 3) 可选 10X 镜头 | |||||||||
| 4) 可选 远视镜头 | |||||||||
| 大带宽 性能 | |||||||||
| 速度解码 | |||||||||
| 量程 | 满程 | 低频限制 | 高频限制 | 分辨率(1) | 加速度 | 线性误差 | |||
| mm s-1/V | m/s | Hz | kHz | μm s-1/√Hz | g | ± % | |||
| 10 | 0.1 | 0.5 | 250 | 0.2 | 16,000 | 1 | |||
| 100 | 1 | 0.5 | 3000 | 0.5 | 1,900,000 | 1 | |||
| 1,000 | 10(7) 2) | 0.5 | 3200 | 2.5 | 15,300,000 | 1 | |||
| 位移解码 (可选) | |||||||||
| μm/V | μm | Hz | kHz | nm | g | ± % | |||
| 0.01 | 0.1 | 1,000 | 250 | 依据速度 | 依据速度 | 2.5 | |||
| 0.1 | 1 | 1,000 | 250 | 2.5 | |||||
| 1 | 10 | 1,000 | 250 | 2.5 | |||||
| 10 | 100 | 100 | 250 | 2.5 | |||||
| 100 | 1,000 | 10 | 20 | 2.5 | |||||
| 1,000 | 10,000 | 10 | 20 | 2.5 | |||||
| 10,000 | 100,000 | 10 | 20 | 2.5 | |||||
| 1) 噪声限制是在信号幅度在信噪比为0dB并且光谱分辨率为1Hz的情况下定义的。典型值是在工作频率的中心点。 | |||||||||
| 2) 10 m/s @ 300 kHz;7m/s @ 3200 kHz | |||||||||
| 高精度 性能 | |||||||||
| 速度解码 | |||||||||
| 量程 | 峰值 | 低频限制 | 高频限制 | 分辨率 (1) | 最大加速度 | 线性误差 | |||
| mm s-1/V | mm/s | Hz | kHz | μm s-1/√Hz | g | ± % | |||
| 2 | 20 | 0 | 100 | 0.02 | 1,280 | <0.1 | |||
| 5 | 50 | 0 | 100 | 0.02 | 3,200 | <0.1 | |||
| 10 | 100 | 0 | 350 | 0.05 | 22,000 | <0.1 | |||
| 20 | 200 | 0 | 350 | 0.06 | 44,000 | <0.1 | |||
| 50 | 500 | 0 | 350 | 0.06 | 110,000 | <0.1 | |||
| 1) 噪声限制是在信号幅度在信噪比为0dB并且光谱分辨率为1Hz的情况下定义的。典型值是在工作频率的中心点。 | |||||||||
| 遵守标准 | |||||||||
| Laser safety | IEC/EN 60825-1 (CFR 1040.10, CFR 1040.11) | ||||||||
| Electrical safety | IEC/EN 61010-1 | ||||||||
| EMC | IEC/EN 61326 | ||||||||



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