NSR2005I10C 尼康步进光刻机 i7/i8/i9/i10/i11/i12 

上海图双精密装备有限公司

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2.针对8寸及以下的不同硅片尺寸（包括特殊材质衬底如碳化硅、氮化镓、蓝宝石等）、不同掩模版尺寸的要求，可实现自主设计、加工制造、集成调整的改造能力。

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光刻机I9/I10/I12设备

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