1. 产品概述
本产品是一款基于新型层流元件设计的层流质量流量计，采用内部补偿型层流差压技术，现代化的制造工艺，具有精度高、量程比宽、响应速度快和可靠性高等优点，并且可以精确地测量极小流量。该流量计可测量工质有液体、气体和蒸汽，并且无前后直管段要求，便于现场安装，在工业测量领域可以广泛应用。
本公司设计研发的新型层流元件，采用内部补偿型的层流压差技术，使得流量计精度更高，重复性更好，并可以精确地测量极小流量，再配套先进的信号处理技术，使响应速度更快，可以满足不同需求的流量测量场合。无论是液体、气体还是蒸汽，本公司的层流质量流量计都可以保证同样优良的测量性能。同时采用现代化的加工制造工艺，让产品的可靠性更加显著，可以适应不同的工作环境，应用范围更广。较其他类型的质量流量计，本公司的层流质量流量计没有前后直管段要求，可大大减少现场安装空间，便于现场安装。
2. 工作原理
层流质量流量计基于Hagen-Poiesuille’s Law（哈根-泊肃叶定律）设计的，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩牛顿流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。当流体流量发生变化时，层流元件两端的压差会相应改变，因此，通过压差传感器读取流体流过层流元件时的压差，可计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。
3. 产品特点
高重复性：重复性高达0.1%
高精度：气体测量精度1%
高可靠性：流量计内部无运动部件，可靠性高；
响应速度快：达到0.001s
多参数在线显示：可同时显示瞬时流量、累积流量、温度、压力、时间等参数；
多种信号输出方式：可根据客户需求选择（4～20）mA和RS485输出
复杂环境适应性：可提供高达IP67防护等级的流量计
测量介质广泛：可测量各种洁净气体（如空气、氦气、氮气、氩气、二氧化碳等）和液体
安装时无直管段要求，节省安装空间
内置压力和温度模块，不受环境压力和温度变化的影响；
4. 应用领域：
半导体行业中单晶炉多晶炉的气相沉积生产工艺
环保领域的采样流量检测与校准
表面处理中的真空镀膜
热处理过程中保护气体的控制
用于生物制药的生物反应器
冶金行业的吹氩搅拌和保护
轻工业、食品、纺织等行业中的工艺过程计量与控制。
医药、化工等行业的精确配料和反应过程的控制。
航空航天、汽车制造等行业动力装置系统的工作性能监控与质量安全控制、出厂检验等。
材料热处理工艺的保护气体流量与温压控制。
另外，也可应用于科学研究、泄漏测试、环境监测、半导体、光纤制造等行业。
5.系列选型
（1）九大系列：
G100—ST气体标准流量系列
G100—MR气体小流量系列
G100—QC气体快速响应系列
G100—RA气体极快速相应系列
G100—GD气体高防护等级系列；
L150—ST液体标准流量系列
L150—MR液体小流量系列
L150—QC液体快速响应系列
L150—GD液体高防护等级系列
气体层流质量流量计流量范围为25SCCM～1000SLPM
，具体流量分为（上限
流量，单位为SLPM
）0.5、1、2、5、10、20、50、100、150、250、500、1000，流量计量程比为20:1，精度等级为1.0。
注意：
SLPM：标准公升每分钟流量值
标准状态定义：温度—20℃
绝对压力—101.325KPa
G100—QC气体快速响应系列
快速响应型系列层流质量流量计采用独立自主研发的层流传感器专利技术和控制板，响应时间可达0.01s，可快速准确测气体的体积流量、质量流量、压力和温度。
快速响应系列层流质量流量计的核心部件是易度公司自主研发的层流传感器与控制电路板，采用层流压差技术，确保气体流动过程中保持层流运动，流量计内装有压力传感器和温度传感器，从而补偿压力和温度变化引起的气体体积流量和质量流量的影响。
流量计带有集成式多功能数字显示屏，具有多参数在线显示功能，可同时显示瞬时流量、累积流量、温度、压力、时间等参数。
流量计内部无可移动部件和发热元器件，无需启动预热时间，无需前后直管段，测量精度高，重复性高，测量速度快，可定制化，并兼容模拟信号和数字信号的输出。
上限流量（SLPM） | 精度等级 | 响应时间（s） | 防护等级 | 上限工作压力（MPa） | 供电 | 输出 |
0.5 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
1 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
2 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
5 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
10 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
20 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
50 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
100 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
150 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
250 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
500 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
1000 | 1.0 | 0.01 | IP65/IP67 | 1.0 | 24V DC | (4～20)mA/RS485 |
