2018中国上海国际靶材与镀膜新材料展
时 间：2018年6月12—14日       
地 点：上海光大会展中心 
         主办单位：
中国光学光电行业协会
中国电子学会电子材料学分会  
       汉慕会展服务(上海)有限公司
         支持单位：
IUVSTA国际真空联盟
国际电气电子工程师学会
        中国科学院微电子研究所
中国电子学会半导体与集成技术分会
        全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会    
          承办单位：
汉慕会展服务(上海)有限公司


         展出范围：
       一、靶材及专用设备类
           1、溅射靶材：高纯钴靶、超高纯Nipt合金靶材、铜和铜合金靶


材、钛和钛合金靶材、金属溅射镀膜靶材、合金溅射镀膜靶材、


          陶瓷溅射镀膜靶材、陶瓷溅射靶材等其他陶瓷靶材、磷化铟靶材


、砷化铅靶材、砷化铟靶材；
        2、金属靶材：镍靶、铁镍靶、钛靶、锌靶、铬靶、钼靶、镁靶


、铌靶、锡靶、铝靶、铟靶、铁靶、锆铝靶、钛铝靶、锆靶、铝


          硅靶、硅靶、铜靶、钽靶、锗靶、银靶、金靶、钆靶、镧靶、钇


靶、铈靶、钨靶、镍铬靶、铪靶、钨靶等。
        3、陶瓷靶材：ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅


靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、


         一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶


、二氧化铪靶，二硼化钛靶、二硼化锆靶、三氧化钨靶、氧化二


       铝靶、五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝


靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛


酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。
            4、合金靶材：铁钴靶、铝硅靶、钛硅靶、铬硅靶、锌铝靶、钛


锌靶材、钛铝靶、钛锆靶、钛硅靶、钛镍靶、镍铬靶、镍铝靶、


镍钒靶、镍铁靶等。
           5、机械设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射


镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、薄膜沉积设备、磁控镀膜、蒸


镀设备、离子束沉积设备等镀膜设备；
          二、镀膜材料类
        1、镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、


混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层


           、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、


TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多


元复合涂层； 
         2、氧化物：一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化


锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5，五氧化


           二铌Nb2O5，五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3，氧化锌ZnO等高纯氧


化物镀膜材料。
           3、氟化物：氟化钕NbF3,氟化钡BaF2，氟化铈CeF3，氟化镁MgF2


，氟化镧LaF3，氟化钇YF3，氟化镱YbF3，氟化铒ErF3等高纯氟


化物。
            4、其它化合物：硫化锌ZnS，硒化锌ZnSe，氮化钛TiN，碳化硅


SiC，钛酸镧LaTiO3，钛酸钡BaTiO3，钛酸锶SrTiO3，钛酸镨


PrTiO3，硫化镉CdS等真空镀膜材料。
            5、金属镀膜材料：高纯铝Al，高纯铜Cu，高纯钛Ti，高纯硅Si


，高纯金Au，高纯银Ag，高纯铟In，高纯镁Mg，高纯锌Zn，高纯


          铂Pt，高纯锗Ge，高纯镍Ni,高纯钽TA，金锗合金AuGe，金镍合


金AuNi，镍铬合金NiCr，钛铝合金TiAl，铜铟镓合金CuInGa，铜


             铟镓硒合金CuInGaSe，锌铝合金ZnAl，铝硅合金AlSi等金属镀膜


材料。


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