该产品为定制产品，价格需电议

山西仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域。

产品优势：
本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种先进的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有抗干扰能力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到国际先进水平， 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请

MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF产品系列特点：
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50:1）。
——耐高压（最大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容
——尺寸小
——连接方便，快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格极具性价比
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广

1.用途和特点
   气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
三、主要技术指标

编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程
工作原理
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

技术问答：

什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？

质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 

一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

5.  质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？ 

(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

(2)  测量控制的自动化

质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(3)  精确地定量控制流量

质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用 

选择产品和订货时应当注意什么？

这一点关系到用户的切身利益，涉及的问题也比较多，因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。

(1) 注意选择正确的品牌

一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

(2) 注意选择正确的量程

A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。

B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。 

C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。 

(3) 注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器（MFC）除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

(4) 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高，应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。

(5) 注意选择合适的响应时间指标

有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求，用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时，还应注意其响应过程及动态特性。

(6) 注意对安装位置有无要求

有的厂家的产品要求必须水平位置安装。

(7) 注意使用气体和适用范围

MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质（特别是使用对腐蚀性气体）情况等均有一定适用范围，请注意阅读说明书或向厂家咨询。

(8) 注意接头形式

通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于高端应用。

(9) 订货应注明：

产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体（特别是腐蚀性气体）、接头形式和数量