一、四氟化碳特性
在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比)，然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。
二、四氟化碳特性值
CAS号 | 75-73-0 |
中文名称 | 四氟甲烷 |
英文名称 | tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride |
别 名 | R14；四氟化碳 |
分子式 | CF4 | 外观与性状 | 无色无臭气体 |
分子量 | 88.01 | 蒸汽压 | 13.33kPa(15.07℃) |
熔 点 | -183.6℃ 沸点：-128.0℃ | 溶解性 | 不溶于水 |
密 度 | 相对密度(水=1)1.61(-130℃) | 稳定性 | 稳定 |
危险标记 | 5(不燃气体) | 主要用途 | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术 |
三、四氟化碳质量标准
项 目 | 指 标 | |
四氟化碳纯度（CF4）10－2 (v/v) ＞ | 99.9997 |
氧+ 氩（ O2 +Ar） 10－6 (v/v) ＜ | 0.5 |
氮 气 （ N2 ） 10－6 (v/v) ＜ | 1.0 |
氢 气 （ H2 ） 10－6 (v/v) ＜ | 0.1 |
一氧化碳 （CO）
10－6 (v/v) ＜ | 0.1 |
二氧化碳 （CO2） 10－6 (v/v) ＜ | 0.1 |
THC（以CH4计） 10－6 (v/v) ＜ | 0.1 |
OHC（C2F6、CH2F2、C3F8）10－6 (v/v)＜ | 0.3 |
水 分 （H2O） 10－6 (v/v) ＜ | 1.0 |
酸 度（以HF计）10－6 (v/v) ＜ | 0.1 |
杂质总和 10－6 (v/v) ＜ | 5.0 |
四、四氟化碳主要用途
作为低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术，四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳的溶氧性好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。
包装:47L钢瓶或400L大罐包装
