东莞市钜顺贸易有限公司专业供应各种镀膜用离子源
Veeco
光学镀膜产业最被广泛使用的离子源MarkⅡ+无栅极式离子源(灯丝式,水冷式,,3000W,10A)
特色:
1.Mark Ⅱ离子源为光学镀膜产业最被广泛使用的离子源,除了延续Ion Tech及Commonweath Scientifics的传统优点之外,更加入学多Veeco的独特的设计。
2.MarkⅡ相较其他同型离子源,可提供更高的例子电流,以3000W的放电功率为例,使用O2气体的最大离子电流可达3.4Amp,相较其他同型的离子源,增加了30-40%,可支援高镀率制程需求。
KRI
KRI无栅式灯丝型离子源EH 1025F
优点;
1.模组化的设计,随插即用。容易维护,体积缩小30%。
2.低温制程。
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