首先，浸泡过的无绒软布清洁;第二部用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

第四步用高压低水气的气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

短路及密封性检查：靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象。

在铝化物涂层中加入Pt，增加了Al的扩散速率DAl，降低了其活度αAl，因而促进了Al从浓度较低的基体向浓度较高的涂层中的上坡扩散，减缓了涂层-基体互扩散所引起的铝贫化。Pt能够替代晶格中的Ni原子而降低涂层表面的Ni/Al比，降低形成保护性Al2O3膜的临界铝含量。Pt能够降低S的有害作用，避免氧化膜-金属界面处空洞的形成，提高氧化膜的粘附力。

添加Pt的初衷是用作扩散障以阻止或推迟Al从涂层向基体的互扩散。但Pt在铂铝涂层中没有发挥扩散障的作用，涂层在服役期间与基体发生明显的互扩散反应，并致使难熔元素析出为TCP相。因此，Pt不能作为铝化物涂层的扩散障，转而作为Al的扩散媒介。从事发动机叶片制造及其高温防护涂层研发与应用的科研院所、高校和企事业等单位缺乏铂改性铝化物涂层的制备与性能研究的知识储备和核心技术，铂铝改性涂层研究在国内未受到足够的重视。