多路气体动态配气装置用于2路及以上气体进行比例动态混合配比，可以对不同的气体浓度进行测量及控制。控制各组份气体浓度，可进行动态气体浓度的配比、多达20段分段模式动态配比，自动计算数据并生成报告，实时在线输出到终端设备中，操作人性化，大大提高了使用时的方便性。

应用领域：

医药、环保、半导体、化学化工、科研院所、食品保鲜、特种材料学科、微电子工艺设备、精密浓度传感器工艺

本公司所研发、设计、生产的多路气体混合配比仪、非标气体定制设备，均采用国内外先进技术研制的精密设备进行检测，大大的提高了我公司产品在使用时的准确性和稳定性。

（一）气体传输：2-16种气体 ， Swagelok卡套连接

（二）气体类型:30种

（三）进气压力：0.1-3MPA

（四）控制阀动作型式：常闭式

（五）响应时间(sec)：1S

（六）工作压差：0.05～0.5MPA

（七）耐压：3MPA

（八）控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制

（九）流量：50SCCM，100SCCM，500SCCM,10SLM,100SLM,1000SLM,3000SLM可定做 可任意范围内调节比例关系（定货时需要说明使用的范围）。

（十）采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，并且不会受到温度及压力变化的影响
          其他流速可选择 ，其他气体可选择

（十一）准确性： 优于1%(根据流量大小而定）

（十二）数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）

                标准状态规定为：

                标准温度………………0℃（273.15K）

                标准压强………………101325Pa

          控制显示方式：电脑操作

          精 确控制两种不同气体流量大小，使用其按不同比例（量）均匀混合，并精 确控制混合气体流量大小。

            可通过电脑软件控制及采集流量信号