【混合气体配比气体混配器流量流量配比高精度气体控制配比柜】价格_厂家

品牌

科探仪器设备

型号

kt

类型

仪器仪表

材质

铝仪表壳体

加工定制

是

适用范围

此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

外形尺寸

400x380x380mm

重量

23kg

混合气体配比气体混配器流量流量配比高精度气体控制配比柜

多通道质子混气供气系统（主要产品是1-4通道混气供气），可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

产品型号	KT-S3Z
产品类型	高精度型,快响应型
流量量程	100sccm,200sccm,300sccm,500sccm （根据实验需求）
产品精度	±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤2sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Male
工作压差范围	(0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
压力表量程	-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
仪器尺寸	400x380x380
不锈钢截止阀	采用316不锈钢制作
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	23kg