性能特点:
1)MX4R系列为新型FPD检查显微镜,专为LCD行业/ TFT玻璃/ COG导电粒子压痕、粒子爆破检查
2)MX4R系列机型采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
3)MX4R系列,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
4)MX4R系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源
5)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
★ 可选配6英寸三层机械移动平台,平台面积445×240mm,行程158×158mm;带快速移动装置;玻璃载物台板,透反两用平台;
★ 可选配8英寸三层机械移动平台,平台面积450×310mm,行程200×170mm;带快速移动装置;玻璃载物台板,透反两用平台;
★ 可选配标准微分干涉(DIC)装置、OLYMPUS微分干涉(DIC)装置