光催化氧化技术是在光化学氧化技术的基础上发展起来的。光化学氧化技术是在可见光或紫外光作用下使有机污染物氧化降解的反应过程。但由于反应条件所限，光化学氧化降解往往不够彻底，易产生多种芳香族有机中间体，成为光化学氧化需要克服的问题，而通过和光催化氧化剂的结合，可以大大提高光化学氧化的效率。

uv光催化废气处理设备严格来讲应该称为UV光催化氧化废气净化装置，废气进入到此设备，首先在UV紫外线光束的照射下产生裂解，将废气中含有的氨、苯等voc的分子键打断，使其成为污染物小分子或打断成分子链，同时UV紫外线分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生臭氧，此时，游离状态的污染物小分子与臭氧氧化结合成无害或低害的化合物，如二氧化碳和水。但是，一些氧化性相对较差的污染物分子不会立即与臭氧发生反应，在废气通过此设备的过程中，此类污染物分子在设备内置催化板的强催化作用下，才能够发生上述反应。

uv光氧净化设备使用二氧化钛作为设备的催化剂，具有无毒、催化活性高、光化学性质稳定以及抗氧化能力强等优点,可通过贵金属及金属氧化物、金属离子掺杂、复合半导体、外加电场等方式来提高光催化降解的效率，光催化剂作用下的降解过程,它们的活性随锐钛矿型TiO2含量的增加而提高TiO2负载Pt后能将有机磷杀虫剂光催化降解的速率提4.5~6倍。

作为干式处理方式中的佼佼者光氧催化净化器设备可以对于喷漆车间、冶金车间、印刷厂、化工厂、制药厂等多种工业污染企业的污染源进行废气的处理和净化工作，经过净化漆雾后的废气处理可进入后续净化设备，如果本身废气当中的颗粒性物质较多的话，那么可以组合喷淋塔废气预处理设备进行净化处理工作。