螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。变螺距螺杆真空泵在泵腔内部逐级进行压缩。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。泵腔内无油，对真空系统无污染，利于尾气回收，环保。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，吸入的气体平稳的加压高于排出处的气体压力。电机的动力通过联轴器传输给主动轴，主转动轴再通过等比齿轮传输给从动轴。

LG等螺距螺杆真空泵系列技术规格表：

注意   (1)  润滑油采用100号真空泵油。设备出厂时配有泵油和润滑脂油。

        (2)  上述冷却水量是基于环境温度在20oC时候的用量，当环境温度不同时，使用循环用水量会有所变化。

        (3)  噪声值是在排气口敞开室内下测得,如接至室外噪声值比上表低5-10dB(A)左右。

                         注：此曲线是在出口为常压，入口在不同压力下测得的抽气速率曲线。