自动平衡气垫精密光学平台

工作原理：平台的每一个气腿上有一个定位开关，当平台低于开关时，阀门打开气泵开始充气。当

平台高于定位开关时，阀门打开气腿自动放气。

气垫隔振平台外形尺寸

1200×800×800mm

1500×1000×800mm

1800×1000×800mm

1800×1200×800mm

2000×1200×800mm

2400×1200×800mm

气垫隔振平台性能

平面粗糙度不大于0.8um

平面度不大于0.05mm/㎡

振幅不大于3um

固有频率不大于3Hz

台面可调精度为0.2mm

M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm

平台表面材质采用高导磁不锈钢板面