入力電圧

24V DC+/-5% 6W Typ.

离子平衡

<+/-25V 150mm 距離 40LPM 配管接続無し

除電時間

<10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し

+/-1kv → +/- 100v 帯電プレートモニターによる

イオン発生方式

コロナ放電式 高周波AC方式

清洁度

ISO Class1,0.1 micron"拡張ISO Class1,10nm"*

電極

単結晶シリコン 交換可能

相应的净化气体

N2 > 99.998%

流量

40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa)

最大パージ圧

207Kpa(=100LPM流量)

最大ガス温度

60deg C

N2パージ接続

Swagelok3/8" OD 配管

イオン化N2接続

1/4NPTメスネジコネクタ或いは　オプションジョイント

28-25710-SCにてSwagelok1/2"OD配管接続

使用温度範囲

15～60deg C

信号出力

Open/Close接点にてアラーム及び、イオン低下出力

寸法

長さ152.4mm x 幅72.4mm x 奥行き32mm

配管部含まず

重量

640g

外装

不锈钢

取り付け方法

后侧M5螺丝螺丝长度小于10 mm