4寸单面抛光区熔硅片 广东4寸半导体单晶硅片厂家
参数类型: SI技术指标
产品尺寸: 4英寸
用途介绍: 单晶硅棒切割成的圆形薄片,是半导体行业的原材料,通过对硅片进行光刻,离子注入等手段,可以制成各种半导体器材
生长方式: 直拉单晶(CZ)
表面抛光: 单面抛光
直径公差: 100 ±0.3(mm)
粗燥度Ra: 0.5nm
弯曲度BOW: 10um
翘曲度TTV: 10um
平整度TIR: 3um
电 阻 率: 50
颗粒度pewaferr:(for size o.3um)
掺杂类型: N型(掺磷、砷、锑) P型(掺硼)
晶体取向: 100
厚 度: 400-550
包 装: 25片/盒(分盒装)
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