低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
　　低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理中最富有前景、最行之有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域甲醛类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
　　掩蔽法
　　采用更强烈的芳香气味与臭气掺和，以掩蔽臭气，使之能被人接收　适用于需立即、暂时地消除低浓度恶臭气体影响地场合，恶臭强度2.5左右，无组织排放源　可尽快消除恶臭影响，灵活性大，费用低　恶臭成分并没有被去除，麻痹了对原有污染物的感知。
　　热力燃烧法
　　在高温下恶臭物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧　适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体　净化效率高，恶臭物质被彻底氧化分解　设备易腐蚀，消耗燃料，处理成本高，易形成二次污染，催化剂中毒。
　　水吸收法
　　利用臭气中某些物质易溶于水的特性，使臭气成分直接与水接触，从而溶解于水达到脱臭目的　水溶性、有组织排放源的恶臭气体　工艺简单，管理方便，设备运转费用低　产生二次污染，需对洗涤液进行处理；净化效率低，应与其他技术联合使用，对水溶性差的物质等处理效果差。
　　药液吸收法
　　利用臭气中某些物质和药液产生化学反应的特性，去除某些臭气成分　适用于处理大气量、高中浓度的臭气　能够有针对性处理某些臭气成分，工艺较成熟　净化效率不高，消耗吸收剂，易形成而二次污染。
　　吸附法
　　利用吸附剂的吸附功能使恶臭物质由气相转移至固相　适用于处理低浓度，高净化要求的恶臭气体　净化效率很高，可以处理多组分恶臭气体　吸附剂费用昂贵，再生较困难，要求待处理的恶臭气体有较低的温度和含尘量
　　生物滤池
　　恶臭气体经过除尘增湿或降温等预处理工艺后，从滤床底部由下向上穿过由滤料组成的滤床，恶臭气体由气相转移至水-微生物混和相，通过固着于滤料上的微生物代谢作用而被分解掉　目前研究最多，工艺最成熟，在实际中也最常用的生物脱臭方法，又可细分为土壤脱臭法、堆肥脱臭法、泥炭脱臭法等。　净化效率高，处理费用低　占地面积大，易堵塞，填料需定期更换，脱臭过程很难控制，受温度和湿度的影响大，生物菌培训需要较长时间，遭到破坏后恢复时间较长。
　　生物滴滤池
　　原理同生物滤池式类似，不过使用的滤料是诸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供营养物的惰性材料。　只有针对某些恶臭物质而降解的微生物附着在填料上，而不会出现生物滤池中混和微生物群同时消耗滤料有机质的情况　池内微生物数量大，能承受比生物滤池大的污染负荷，惰性滤料可以不用更换，造成压力损失小，而且操作条件极易控制　占地面积大，需不断投加营养物质，而且操作复杂，受温度和湿度的影响大，生物菌培训需要较长时间，遭到破坏后恢复时间较长。
　　洗涤式活性污泥脱臭法
　　将恶臭物质和含悬浮物泥浆的混和液充分接触，使之在吸收器中从臭气中去除掉，洗涤液再送到反应器中，通过悬浮生长的微生物代谢活动降解溶解的恶臭物质　有较大的适用范围　可以处理大气量的臭气，同时操作条件易于控制，占地面积小　设备费用大，操作复杂而且需要投加营养物质。
　　曝气式活性污泥脱臭法
　　将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质　适用范围广，目前日本已用于粪便处理场、污水处理厂的臭气处理　活性污泥经过驯化后，对不超过极限负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。　受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限。
　　催化氧化
　　反应塔内装填特制的固态复合填料，填料内部复合催化剂。当恶臭气体在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴化剂在固相填料表面充分接触，并在催化剂的催化作用下，恶臭气体中的污染因子被充分分解。　适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。　占地小，投资低；管理方便，即开即用；耐冲击负荷，不易被污染物浓度及温度变化影响。　需消耗一定量的药剂，运行成本高，催化剂操作不当会中毒，存在二次污染。
　　光化学
　　利用恶臭物质对光子的吸收而发生分解，同时反应过程产生的羟基自由基、活性氧等强化性基团也能参与氧化反应，从而达到降解恶臭物质的目的。　适用于浓度较低，且能吸收光子的污染物质　可以处理大气量的、低浓度的臭气，操作极为简单，占地面积小。　对不能吸收光子的污染物质效果差，对于成分复杂的废气无法达到预期处理效果。