催化燃烧技术是在催化剂的作用下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳，达到治理的目的。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的技术。将吸附技术和催化燃烧相结合的一种集成技术，将大风量、低浓度的有机废气经过吸附/脱附过程转换成小风量、高浓度的有机废气，然后经过催化燃烧净化，可以有效的利用有机物的燃烧热。该方法适合于大风量、低浓度或浓度不稳定的废气治理，通常用于低于1500 mg/m3的有机废气的治理。精细化工的各类反应主要在有机溶剂中进行。主要的溶剂有芳烃类、醇类、酯类、烃类等，所以排放的尾气中会含有所用的各类溶剂可以采用深度冷凝的方式进行溶剂回收。

工厂尾气是酸性气体并且含有焦油的情况，可采用稀碱水洗涤。优先选用填料吸收塔，板式塔的压降较大，一般不用。根据风机的风量确定塔的直径适当增加塔的高度，选用合适的液体分布器，确保洗涤效果可以采用衬里材料进行防腐。

颗粒活性炭分为煤质和木质两大类，目前市场上提供的活性炭以煤质为主颗粒活性炭生产加工过程如下：将原料煤粉碎到一定细度，加入适量的黏合剂并混合均匀，采用催化活化时则添加适量催化剂，挤压成炭条，经陈化、炭化、活化、洗涤、干燥、筛分得粒度为25mm活性炭颗粒产品。