“半导体离子注入DF axcelis Electron Shower IV Power Supply维修”详细介绍

　　上海帝越电子科技有限公司主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，液晶面板、LED、太阳能光伏等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。专业维修电源！ 

公司配备专用维修、检测和负载测试工具，有多年的丰富维修经验，服务具体如下： 

服务机台 

刻蚀（ET）：LAM　9400、9600 

AMAT　CENTURA　II＆I 

AMAT　SEMVision　G2 

离子注入（DF）：VARIAN 

EATON（axcelis） 

NISSIN 

AMAT　PI9500　9200 

光刻（PH）：NIKON　NSR 

ASML　5500 

太阳能光伏PECVD：centrotherm（管式镀膜）Roth＆Rau（平板式镀膜德国） 

服务品牌 

射频电源；AE（Advanced　Energy）、ENI（MKS）、SEREN、DAIHEN、VEECO 

高压电源HiTek　power，Glassman、Spellman 

直流电源LAMBDA、DELTA、sorensen、Powerone、ASTeX　SMART　MATCH、FLASH　LAMP、ESC　HV　PSU