催化热破坏处理设备能达到的有机物热破坏效率在90～95%之间,稍低于直接火焰燃烧,这是由于废气停留在催化床层填料或催化材料涂层的时间长,降低了催化剂有效表面积从而降低了全面破坏效率。另外,催化剂常只针对特定类型化合物反应,所以催化燃烧的应用在一定程度上受到限制。

典型的,具有一级、二级热回收器的催化氧化

最重要的有机化合物破坏机理是氧化和热裂解、 热分解,热破坏法正是基于此机理进行的。

直接火焰燃烧是一种有机物在气流中直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。多数情况下,有机物浓度较低,不足以在没有辅助燃料时燃烧。直接火焰燃烧在适当温度和保留时间条件下,可以达到99%的热处理效率。

催化燃烧是有机物在气流中被加热,在催化床层作用下,加快有机物化学反应(或破坏效率的方法),催化剂的存在使有机物在热破坏时比直接燃烧法需要更少的保留时间和更低的温度。