有机物在等离子体中的氧化降解机理一般认为主要有下面几个过程:

(1)在高能电子作用下,强氧化性自由基O、OH等的产生;

(2)有机物分子受到高能电子碰撞被激发,及原子键断裂形成小碎片基团

(3)O、OH与激发原子有机物分子破碎

的分子基团,自由基等一系列反应1988年以来,美国环保局进行了挥发性有机物和有毒气体电晕破坏的研究,他们模拟了表面反应器进行分子形式的电晕破坏,达到分解有毒、有机化合物的目的,开发一种低成本低费用低浓度污染物流的控制技术,研究在环境通常温度和压力下,效率、费用达到工业规模的破坏挥发性有机物物和有毒气体的工业规模电晕反应器说明,电晕破坏是一种有前途的控制技术。