在处理过程中，当有机气体进入等离子体体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室。反应室分成模块式管子区，每根管子的中央有一根放电极，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上，由电线至管壁产生放电现象。等离子体能够将喷漆废气中的污染物组分降解形成小分子的有机污染物，通过尾气末端活性炭吸附对等离子体降解产生的气溶胶进行进一步的吸附净化，从而达到废气净化的目的。

低温等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，污染物的分子结构被破坏，形成有机小分子，进一步被氧化矿化形成CO2和H2O。

UV光解协同光触媒催化氧化装置的工作原理是当VOCs废气经过光催化处理模块时，通过纳米材料在紫外光的照射下，把光能转变成化学能促使有机物降解，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、·OH(羟基自由基)对恶臭有机气体进行协同分解氧化反应，同时大分子有机气体在紫外线作用下使其链结构断裂，使恶臭有机气体物质转化为无臭味的低分子化合物。使有机物分子化学键断裂，发生一系列复杂氧化、降解化学反应。蜂窝活性炭大量应用在低浓度、大风量的各类有机废气净化系统中。被处理废气在通过蜂窝活性炭方孔时能够充分与活性炭接触，吸附效率可达90%，风阻系数小，具有优良的吸附、脱附性能和气体动力学性能，采用蜂窝活性炭的环保设备废气处理净化效率高，吸附床体积小，设备能耗低，能够降低造价和运行成本，净化后的气体完全满足环保排放要求