- 紧凑型：落地面积仅44毫米×44毫米
- 行程达120微米×120微米
- 分辨率达0.2纳米
- 经济实用的机械/电气系统配置
- 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 可提供X、Z和XYZ型版本
- Outstanding lifetime thanks to PICMA® piezo actuators
The patented PICMA® piezo actuators are all-ceramic insulated. This protects them against humidity and failure resulting from an increase in leakage current. PICMA® actuators offer an up to ten times longer lifetime than conventional polymer-insulated actuators. 100 billion cycles without a single failure are proven.
Fields of application- Interferometry
- Microscopy
- Nanopositioning
- Biotechnology
- Test procedures and quality assurance
- Photonics
- Fiber positioning
- Semiconductor technology
Flexure guides are free of maintenance, friction, and wear, and do not require lubrication. Their stiffness allows high load capacity and they are insensitive to shock and vibration. They are 100 % vacuum compatible and work in a wide temperature range.
规格
P-611.2S
P-611.20
P-611.XZS
P-611.XZ0
单位
公差主动轴
X, Y
X, Y
X, Z
X, Z
运动和定位集成传感器
应变片传感器
–
应变片传感器
–
开环行程，-20至120伏
120
120
120
120
微米
最小（20 % / -0 %）
闭环行程
100
–
100
–
微米
开环分辨率
0.2
0.2
0.2
0.2
纳米
典型值
闭环分辨率
2
–
2
–
纳米
典型值
线性误差
0.1
–
0.1
–
%
典型值
重复精度
<10
–
<10
–
纳米
典型值
X、Y向上的螺距
±5
±5
±5
±5
微弧度
典型值
径向振摆θX （Z向运动）
–
–
±10
±10
微弧度
典型值
X向上的偏转角
±20
±20
±20
±20
微弧度
典型值
Y向上的偏转角
±10
±10
–
–
微弧度
典型值
径向振摆θY （Z向运动）
–
–
±10
±10
微弧度
典型值
机械特性刚度
0.2
0.2
0.2Z: 0.35
0.2Z: 0.35
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
X: 345;Y: 270
X: 345;Y: 270
X: 365;Z: 340
X: 365;Z: 340
赫兹
±20 %
谐振频率，带负载，30克时
X: 270; Y: 225
X: 270; Y: 225
X: 280; Z: 295
X: 280; Z: 295
赫兹
±20 %
谐振频率，带负载，100克时
X: 180; Y: 165
X: 180; Y: 165
X: 185; Z: 230
X: 185;Z: 230
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
15 / 10
15 / 10
15 / 10
15 / 10
牛
最大
负载容量
15
15
15
15
牛
最大
驱动特性陶瓷类型
PICMA P-885
PICMA P-885
PICMA P-885
PICMA P-885
电容
1.5
1.5
1.5
1.5
微法
±20 %
动态操作电流效率
1.9
1.9
1.9
1.9
微安/(赫兹 × 微米)
±20 %
其他工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
铝、钢
铝、钢
铝、钢
尺寸
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米
质量
0.235
0.235
0.27
0.27
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器连接
LEMO
–
LEMO
–
电压连接
LEMO
LEMO
LEMO
LEMO
PI压电陶瓷纳米级定位器的分辨率不受静摩擦力或摩擦力的限制。所给出的值为带E-503放大器的噪声等效运动。
每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下50微米的正弦扫描需要约0.9毫安的驱动电流。
推荐控制器/放大器单通道（每轴1个）：E-610伺服控制器/放大器，E-625伺服控制器，台式，E-621控制器模块
多通道：带E-503放大器模块（三通道）或E-505（每轴一个，大功率）和E-509控制器的E-500模块化压电陶瓷控制器系统
