ALPAO高速变形镜

变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
    ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，最高到820 个驱动器，行程达80µm，表面质量<7nmRMS，采用目前世界上先进的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。
ALPAO公司可变形镜
ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。
                                             
 主要特点：
 调制量大：波前相位调制幅度超过80μm                   
稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours
高动态范围 ：响应时间小于500μs                        
镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0µm
表面平整：表面粗糙度 <15Å RMS
亚纳米步长精度
低磁滞：磁滞误差小于1%              
单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV
 
法国Alpao公司开发的高速为电磁驱动式、连续型反射镜面，驱动电极多、可快速设定时间从而实现快速的波前校正。可应用于天文望远镜、主动光学、自适应光学、通信等领域。。