Tropel Flat Master 100平坦度检测设备
美国康宁Corning Tropel FM100平坦度仪为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM100能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
Tropel FM100平整度仪产品特点：
无接触和无损伤测量
适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面
测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
超过15年的工业应用，全球几百台的装机量
技术参数：
度：50nm （2.0μ″）
重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可测量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供）
动态测量范围：>100um
测量数据点：230,000 / measurement
测量时间：5秒
电源：～220V 50Hz
Tropel Flat Master 200平坦度检测设备
美国康宁Corning Tropel FM200平整度仪为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
Tropel FM200平整度仪产品特点：
无接触和无损伤测量
适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面
测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
超过15年的工业应用，全球几百台的装机量
技术参数：
度：50nm （2.0μ″）
重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可测量工件尺寸：25mm-200mm
动态测量范围：>100um
测量数据点：230,000 / measurement
测量时间：5秒
电源：～220V 50Hz
Flat Master 1400平坦度测量系统
高精度平坦度、平整度(Flatness)检测设备；在国外的有着成熟的应用，可以对BareWafer、Disk和精密工业部件的进行多参数的平坦度检测。
Corning Tropel公司 FlatMaster 1400 LCD图形掩膜平面测量系统。在提供平面测试技术方面具有丰富的经验，能力已扩展至包括大型LCD图形掩膜的测量。
FlatMaster 1400针对LCD图形掩膜，提供超高速、可重复及的全表面平面测量，以满足下一代平板显示要求。
Tropel FM140平整度仪利用其非接触、切线入射技术和基于Corning Tropel公司现有FlatMaster技术的子孔径拼接干涉计(stitching interferometer)，FlatMaster 1400对图形掩膜表面进行光栅扫描，并组合200mm x 200mm测量结果。最终可以得到达220mm x 1400mm和更大面积图形掩膜的完整表面分析。
针对大型LCD图形掩膜制造商而设计，FlatMaster 1400使制造商可以对从研磨(grinding)到最张抛光(polish)的制造工艺进行的监控和改进。“FlatMaster 1400是一种明确的工艺改进方法。该系统允许图像掩膜可以被迅速测量以确定制造过程是否在控制之中，而后如果需要的话进行调整。”
目前生产高清液晶电视需要的大屏幕面板需要更大更平的图形掩膜，这样才能确保LCD电极的性。而FlatMaster 1400可以有效确保大尺寸图形掩膜的平整性。
