二手日本光驰 型号2350 触摸屏镀膜机
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标配参数:单枪
离子源
晶控
23公分的射频源
热阻蒸
顶部侧部加热
两个扩散泵、一个螺丝泵、一个机械泵
真空室 | Ф2350mm×H
1400mm |
基板架 | Ф2200 mm5?式 |
基板架转速 | 20rpm |
晶振式膜厚计 | 6点式?晶传感器 |
蒸发源 | 电?枪1台,热阻蒸1台 离?源 RF |
离?源 | RF离?源 |
此真空镀膜机是镀制防污膜(AS膜)及防反射 膜+防污膜(AF+AS膜)的?型光学镀膜机,应?于智慧?机等所配的触摸屏。
特征:磁密封驱动的基板旋转?式可得到稳定和均匀的膜厚分布
配备●配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性。(*已通过4万次以上摩擦试验*)
●用于防污膜(AS 膜)批量生产。■ 防污膜(AS 膜)批量?产。
性能:达到压? 7.0E-5Pa以下
排?时间15分以下(??压?2.0×10-3 Pa)
工作条件
设备尺寸 | 约6300mm (W)×9000mm (D) ×4000mm (H) |
电源 | 3相,200v,50/60Hz,约80KVA |
水流量 | 220升/分以上 |
空气压力 | 0.5-0.7mpa |
重量 | 约12000kg |