化学名称：一,，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41
结构式：CH3-F
分子式：CH3F
分子量：34.03
沸点（℃）：-78.4
凝固点（℃）：-142
临界温度（℃）：44.5
蒸汽相对密度（空气=1）：1.2
液体相对密度（水=1）：0.61
蒸汽压（20℃，bar）：33
空气中的可燃范围（%vol)：>5.6
CAS号：593-53-3
ODP：0
GWP100年：150

​包装规格：4.64L/10.2L/44L 钢瓶

高纯一HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气，它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。​