一次过滤液相捕获： 旋转式螺旋过滤器，将吸入的介质中的固体颗粒首先拦截下来。* 通过对较大固体、粉尘颗粒在前段进行彻底的拦截，大大地减轻了后端多级过滤的压力。二次过滤气相拦截：高压碰撞离心分离拦截液相雾气。* 高压碰撞技术：气溶胶 粒子被粗效过滤件收集，细小的颗粒有逐级滤材完成。* 离心分离拦截液相雾 气：在气流中由不同的工作件定向收集介质对象，不同的介质选用最合i适的过滤结构和材质。* 个性滤网拦截气溶胶粒子：在气流结构方面改良固有结构减少阻力提高效率。各风道口表面选用美国杜邦公司生产的F4进行处理，使机器过滤精度高寿命长。三次过滤真空吸雾：* 含有细小粉尘的各油雾经第三级分离被收集后，经后置活性炭过滤器能有效祛除异味和有害气体，洁净空气在风机负压的作用下，经风机直接排入空气中。

净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负i面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。    

在 FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。    

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，

而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。