采用高精度济南青花岗岩底座和立柱,确保机台拥有的高稳定性和度;
采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置,确保工作台回程误差在2um以内;
采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台,确保机台精度在≤3+L/200um以内;
采用高清变焦镜头和高解析度彩色相机,确保画质清晰无畸变;
采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源,以及内置智能灯光调节模块,可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度;
Z轴采用高精度直线导轨和伺服电机控制系统,实现自动对焦,消除人为聚焦误差,提升测量精度和稳定性;
功能强大的iMeasuring2.2影像测量软件,提升品质管控到新的台阶;
可选进口接触式探针和三维测量软件,轻松将机台升级成为接触式三次元测量机;
可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件,提升制程控制、降低物料耗损。