MAS-KD-9070高真空合金炉适用工艺: 主要用于电力电子器件、大规模集成电路、二极管光电等行业,在高温、真空环境下对器件进行真空合金、真空扩散、烧结、退火等工艺
设备参数
合金炉工作温度:0-1200℃
合金炉单点温度控制精度:≤±1.5℃/24h
合金炉恒温区长度:200-800mm
合金炉升温功率:≤17KW
合金炉升温速率:0-1200℃,约150min(可选程序控制,以更改升温速率及保温时间)
保温功率:<10KW
合金炉工作方式:单工位/双工位/三工位(可选)
合金炉取料方式:手动进出料/自动进出料(可选)
合金炉冷态真空度:5.9×10-4Pa
合金炉真空室内径:Φ150-Φ200mm
真空室材质:石英/不锈钢
高真空阀、低真空阀:自动/手动
充气阀:自动/手动
合金炉真空泵:旋片泵/旋片泵+扩散泵/旋片泵+罗茨泵+扩散泵/旋片泵+分子泵
合金炉真空室冷却形式:风冷(真空室自动与加热室分离)
总重量:约1000Kg
合金炉外型尺寸:长3500×高1600×宽800
炉体自动移动速度:0-400mm/min(可调)
合金炉运行方式:全自动/半自动/手动(可选)
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