氨气多应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜。液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。
高纯氨气的应用:
合成氨气用于制造氮肥等化工原料
工业氨气用于氨分解制氮氢混合气体
液氨用于有机合成
高纯氨气用于LED电子行业的氮源
高纯氨气跟硅烷、高纯氩气用于薄膜太阳能电池制造
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