德 Iplas 微波等离子化学气相沉积
化学机理概要:
碳氢化合物:提供沉积材料
氢气:生成sp3键
氧:对石墨相/sp2键侵蚀
惰性气体:缓冲气体,或生成纳米晶体。
适用合成材料:
大尺寸宝石级单晶钻石
高取向度金刚石晶体
纳米结晶金刚石
碳纳米管/类金刚石碳(DLC)
金刚石薄膜
宝石级钻石
vvs1,~1 carrat, E grade
多种等离子发生器选择:
频率:2.45GHz, 915MHz:
功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW
等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm
工作其他范围:0-1000mBar
其他应用:MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。
MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。
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