型号:ERT-ST150

XY轴行程：150mm x 150mm(可选配100mm x 100mm、

            200mm x 200mm、250mm x 250mm)

Z轴行程：100mm

Z轴量程：4mm(可选配50nm~24mm）

光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，最小可小于2um)

XY轴分辨率：50nm

XY轴平面度:<2um

XY轴重复定位精度：0.5um

Z轴线性度：0.01%F.S

Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔最小为14nm)

XY轴最大扫描速度：20mm/s

样品可测最大倾角：漫反射表面最大87度

适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均

           可进行稳定测试

功能与应用

产品表面段差、高度、宽度、平面度测量

多层透明体厚度测量

光谱共焦测量技术上的原理简介

      1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。

      2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。

      3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有完美聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的距离值。

       4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.

主要应用领域：

粗糙度测量

得益于纳米级精度及超好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。

轮廓和3D形貌测量

集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。

透明体厚度测量

创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。

液位控制测量

优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度

在线检测

高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。

震动测量

由于采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。