您的期望:
- 提供清洁的超高真空
- 适合工业应用（PVD等镀膜工艺）
- 耐粉尘
- 低维护
我们的解决方案:
- 对所有气体都有高抽速和高压缩比
- 复合型分子泵
- 耐粉尘
- 耐冲击
- 自动监测和自我保护功能
- 免维护