您的期望:
- 抽速大
- 清洁无污染
- 使用寿命长
我们的解决方案:
- 抽速范围 0.2 至 1,200 l/s
- 极限压强 < 1 x 10-10 mbar
- TiTan™ 离子泵抽气单元:
- TiTan™ CV 标准二级新- 采用两块钛阴极板，提供对活性气体的高抽速
- TiTan™ DI惰性二级型 – 阴极板材料采用鈦和钽金属复合，在保证
对活性气体抽速的同时能够提供对惰性气体的长期稳定抽速
- TiTan™ TR 三级型模块- 可以在更高压强下工作
- 所有TiTan™ 和 TSP组件可加热至 400 °C
- 多种附件可选
- DIGITEL™ 系列离子泵控制器和 TSPs控制器配置灵活
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