型号：BZY4-Verifire
货号：21041901
Verifire 斐索型激光干涉仪，具有专利QPSI测量模式，能够在振动环境中检测，真正的共光路面形计量干涉仪。
ZYGO新一代激光干涉仪系列--Verifire 斐索型激光干涉仪，继承了工业标准GPI 激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO领先技术的集中体现。
Zygo最新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
技术参数：
货号 | 21041901 |
| 测量功能 | 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前QPSI快速机械相移 模式和传统的机械相移干涉模式（PSI) |
| 测量技术 | QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI） |
| 校准系统 | 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) |
| 测量光束直径 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 对准视场范围FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光学中心线 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率稳频氦-氖激光，IIIa级 |
| 波长 | 633 nm |
| 频率稳定度 | < 0.0001 nm |
| 相干长度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 帧速 | 100Hz（PSI） |
| 数据采集时间 | 130-300ms |
| 数据模式 | 8位 |
| 放大 | 电控1-5X |
| 偏振 | 接近圆偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈调焦范围 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 计算机和软件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO专利软件 Metropro? 9和Metropro? X（2） |
| 安装构造 | 水平卧式或垂直立式 |
| 尺寸(长x宽x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 电源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作环境（1） | |
| 温度 | 15℃ - 30℃ (59℉ - 86℉) |
| 温度变化率 | ＜1.0°C/15min |
| 湿度 | 相对湿度5% - 95% , 无凝结 |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量；机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。 |
性能参数 | |
| RMS重复性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重复性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
Verifire 斐索型激光干涉仪两种模式下测试有振动的腔
PSI模式 13位计算法 QPSI模式 5ms快门速度
注：
1 给出的环境参数是指可以操作使用的环境，不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。
2 仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。
3 简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔，做36次连续测量（每次16次相位平均），所测得的RMS的标准差的2倍。
4 波前RMS重复性定义为，把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值，而把偶数次测量值相对于此均值求得标准差；计算基于36次连续测量（每次16次相位平均）。
5 像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量（每次16次相位平均），取图像峰值标准差的99.5%；这个结果测量系统随时间变化的行为（或者A类不确定性）。
